发明名称 |
一种高灵敏度微谐振腔光传感器 |
摘要 |
本发明公开的高灵敏度微谐振腔光传感器,包括输入波导、微谐振腔、输出波导和光功率衰减器,输入波导和输出波导分别与微谐振腔耦合,置于微谐振腔的两侧,输入波导的一端为整个光传感器的光源接入端,输入波导的另一端与光功率衰减器的输入端相连,光功率衰减器的输出端与输出波导的一端相连,输出波导的另一端为传感信号出射端。该微谐振腔光传感器结构简单,设计方便,仅需标准工艺制作。采用微谐振腔设计,可以实现非常尖锐的频谱响应,从而实现高精度、高灵敏度测试。 |
申请公布号 |
CN101261222A |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
申请号 |
CN200810060460.8 |
申请日期 |
2008.04.11 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
戴道锌;何赛灵 |
分类号 |
G01N21/41(2006.01);G01N21/17(2006.01) |
主分类号 |
G01N21/41(2006.01) |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 |
代理人 |
韩介梅 |
主权项 |
1、一种高灵敏度微谐振腔光传感器,其特征在于包括输入波导(1)、微谐振腔(2)、输出波导(3)和光功率衰减器(4),输入波导(1)和输出波导(3)分别与微谐振腔(2)耦合,置于微谐振腔(2)的两侧,输入波导(1)的一端为整个光传感器的光源接入端,输入波导(1)的另一端与光功率衰减器(4)的输入端相连,光功率衰减器(4)的输出端与输出波导(3)的一端相连,输出波导(3)的另一端为传感信号出射端。 |
地址 |
310027浙江省杭州市浙大路38号 |