发明名称 一种高灵敏度微谐振腔光传感器
摘要 本发明公开的高灵敏度微谐振腔光传感器,包括输入波导、微谐振腔、输出波导和光功率衰减器,输入波导和输出波导分别与微谐振腔耦合,置于微谐振腔的两侧,输入波导的一端为整个光传感器的光源接入端,输入波导的另一端与光功率衰减器的输入端相连,光功率衰减器的输出端与输出波导的一端相连,输出波导的另一端为传感信号出射端。该微谐振腔光传感器结构简单,设计方便,仅需标准工艺制作。采用微谐振腔设计,可以实现非常尖锐的频谱响应,从而实现高精度、高灵敏度测试。
申请公布号 CN101261222A 申请公布日期 2008.09.10
申请号 CN200810060460.8 申请日期 2008.04.11
申请人 浙江大学 发明人 戴道锌;何赛灵
分类号 G01N21/41(2006.01);G01N21/17(2006.01) 主分类号 G01N21/41(2006.01)
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 代理人 韩介梅
主权项 1、一种高灵敏度微谐振腔光传感器,其特征在于包括输入波导(1)、微谐振腔(2)、输出波导(3)和光功率衰减器(4),输入波导(1)和输出波导(3)分别与微谐振腔(2)耦合,置于微谐振腔(2)的两侧,输入波导(1)的一端为整个光传感器的光源接入端,输入波导(1)的另一端与光功率衰减器(4)的输入端相连,光功率衰减器(4)的输出端与输出波导(3)的一端相连,输出波导(3)的另一端为传感信号出射端。
地址 310027浙江省杭州市浙大路38号