排气装置、包括该排气装置的基板处理装置以及排气方法

摘要

本发明提供一种排气装置和包括该排气装置的基板处理装置以及排气方法。处理室内的气体和反应副产物通过排气管道排出。在排气管道上连接排气口，通过排气口收集反应副产物。排气口包括容纳所收集的反应副产物的收集筒和把收集筒连接在排气管道上的紧固构件，所述收集筒与在排气管道的侧壁上形成的排出口连接。排气管道包括第一和第二排气管道以及连接管道，在连接管道上形成排出口和导向面。

主权项

1.一种排气装置，其特征在于包括：排气管道，连接在处理室上，把所述处理室内的反应副产物排出；容器形状的收集筒，连接到在所述排气管道的侧壁上形成的排出口上，收集所述排气管道内的反应副产物；以及紧固构件，连接在所述收集筒上，并把所述收集筒连接在所述排出口上。