| 发明名称 | 用于观测表面的散射计和方法 | ||
| 摘要 | 一种散射计，其包括用于在待分析的样品(5)的方向上以不同的角度提供入射光束(8)的光源装置(11)和用于接收入射光束(8)的反射(19)的凹面屏幕(1、2)。所述屏幕(1、2)具有基本上为球面的一部分的形状，例如半球，其中样品(5)的位置在它的中心处。所述屏幕(1、2)具有孔径(9)，入射光束(8)朝向所述样品(5)通过该孔径。所述光源装置(11)和包括所述孔径(9)的屏幕(2)的至少一部分能够围绕一个通过所述中心并基本上垂直于入射射束的所述方向的轴(3)相对于样品(5)旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN100567960C | 申请公布日期 | 2009.12.09 |
| 申请号 | CN200480005484.3 | 申请日期 | 2004.02.18 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | S·瓦德曼 |
| 分类号 | G01N21/47(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/47(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;陈景峻 |
| 主权项 | 1、一种散射计，其包括用于在待分析的样品的方向上以不同的角度提供入射光束的光源装置和用于接收入射光束的反射的凹面屏幕，所述屏幕具有基本上为球面的一部分的形状，其中承载该样品的基板位于球面的中心处，所述屏幕具有一个孔径，入射光束通过该孔径朝向所述基板传送，其中该散射计包括用于观测光束在屏幕上的反射的摄影机，其特征在于，所述光源装置和包括所述孔径的屏幕的至少一部分能够围绕一个通过所述中心并基本上垂直于入射射束的所述方向的轴相对于所述样品旋转。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||