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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Analysieren eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät, beispielsweise ein Elektronenstrahlgerät und/oder ein Ionenstrahlgerät, oder mit einer Röntgenstrahleinrichtung. Ferner betrifft die Erfindung ein Teilchenstrahlgerät oder eine Röntgenstrahleinrichtung, mit dem das Verfahren durchgeführt wird. Bei dem Verfahren werden Informationen über das Objekt aus einem Datenspeicher (409) in eine Steuereinrichtung (404) geladen. Ferner wird eine Gruppe von Detektionseinheiten (1 bis 30) aus der Vielzahl von Detektionseinheiten (1 bis 30) mittels der in die Steuereinrichtung (404) geladenen Informationen identifiziert. Die Gruppe von Detektionseinheiten (1 bis 30) wird zu einem ersten Detektorsegment unter Verwendung der Steuereinrichtung (404) gebildet. Durch Zuführen eines Teilchenstrahls auf das Objekt und Abrastern des Objekts mit dem Teilchenstrahl werden Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung erzeugt, die detektiert werden, wobei aus dem Detektorsegment ein Detektorsegmentsignal ausgelesen wird. Es wird dann eine Darstellung des Objekts mittels des ersten Detektorsegmentsignals erzeugt und das Objekt mittels der Darstellung des Objekts in einer Analyseeinheit (401) analysiert. |
