| 发明名称 | 微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置制造用感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置制造用感光性树脂组合物，制造方法包括：由感光性树脂组合物在支撑体上形成树脂层的工序，感光性树脂组合物含有具有至少两个自由基聚合性基的化合物、光自由基产生剂、具有至少两个阳离子反应性基的化合物、光阳离子产生剂以及选自具有保护基的胺、光降解性碱、具有酰亚胺结构的化合物、具有酰胺结构的化合物及具有脲结构的化合物中的至少一种化合物；对树脂层的一部分进行紫外线曝光及显影的工序；在显影后的树脂层上载置覆盖材料而获得层压体的工序；及对所得的层压体进行紫外线曝光的工序。由于光刻后的经图案化的树脂层具有充分的强度与粘性，从而使微流体装置具有良好的流路。 | ||
| 申请公布号 | CN106066575A | 申请公布日期 | 2016.11.02 |
| 申请号 | CN201610246881.4 | 申请日期 | 2016.04.20 |
| 申请人 | JSR株式会社 | 发明人 | 西村功;星子贤二;金子将寛 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 彭雪瑞;臧建明 |
| 主权项 | 一种微流体装置的制造方法，其特征在于，包括：工序1，由感光性树脂组合物在支撑体上形成树脂层，所述感光性树脂组合物含有具有至少两个自由基聚合性基的化合物、光自由基产生剂、具有至少两个阳离子反应性基的化合物、光阳离子产生剂以及选自具有保护基的胺、光降解性碱、具有酰亚胺结构的化合物、具有酰胺结构的化合物及具有脲结构的化合物中的至少一种化合物；工序2，对所述树脂层的一部分进行紫外线曝光及显影；工序3，在显影后的树脂层上载置覆盖材料而获得层压体；及工序4，对所得的层压体进行紫外线曝光。 | ||
| 地址 | 日本东京港区东新桥一丁目9番2号 | ||