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发明名称 Monitoring device of laser pulse energy within extreme ultraviolet/soft X-ray spectrum
摘要
申请公布号 CZ29600(U1) 申请公布日期 2016.07.07
申请号 CZ20160032378U 申请日期 2016.05.16
申请人 Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i. 发明人 Štraus Jaroslav;Schmidt Jiří;Frolov Oleksandr;Koláček Karel
分类号 G01J1/42;G01J1/46;G01J11/00 主分类号 G01J1/42
代理机构 代理人
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