发明名称 Verfahren zur Herstellung eines zweidimensionalen Detektorarrays zur Detektion elektromagnetischer Strahlung
摘要
申请公布号 DE10054680(B4) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 DE20001054680 申请日期 2000.11.03
申请人 SIEMENS AG 发明人 OTTO, WALTER
分类号 G01T1/20;G01T1/29;G01N;G01N23/08;G01T1/24;H01L27/14 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
主权项
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