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Das erfindungsgemäße Linnik-Interferometer (4) weist eine zentrale Strahlteileranordnung (24) auf, die so beschaffen ist, dass zumindest die Beobachtungseinrichtung (15) und eine Einheit (14), die ein Objektiv (8) und den Referenzspiegel (10) umfasst an ein und derselben Seite des Messkopfs angeordnet sind. Dieser öffnet den Weg der Integration des Linnik-Interferometers in eine Messmaschine. Es ergibt sich eine vibrationsunempfindliche, robuste und raumsparende Anordnung.
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