一种利用定向分子流校准方向规的方法

摘要

本发明涉及一种利用定向分子流校准方向规的方法，属于真空测量技术领域。该方法通过向稳压室中充入单一成分的气体，并使气体以恒定流量流入上游室，然后通过上游室与校准室间的小孔与抽气口间形成定向分子流。测量出上游室压力P_f，获得方向规平衡室中的标准压力，求出方向规的修正因子p₀/p。重复上述过程，根据多个方向规的修正因子p₀/p，求出其平均值，由此实现对方向规的校准。采用本发明的校准方向规的方法，校准精度高，使被校准的方向规能够满足航天器上对定向流的测量、空间真空测量、地球表面大气探测以及星球真空环境等领域的需要。

主权项

1、一种利用定向分子流校准方向规的方法，其特征在于包括下列步骤：步骤一、对校准室、稳压室、上游室和连接管道进行抽真空操作；步骤二、向稳压室中充入单一成分的气体，并使气体以恒定流量流入上游室，然后通过上游室与校准室间的小孔，将气体引入校准室；步骤三、待上游室的气体压力稳定后，测量上游室压力Pf，通过下式获得方向规平衡室中的标准压力P；其中，Ps为校准室的真空度，ra为小孔的半径，re为方向规入口的半径，L为小孔距方向规入口的距离；步骤四、读取方向规的示值压力p0，求出方向规的修正因子p0/p；步骤五、改变上游室中气体的压力，重复步骤二至步骤四N次，根据N个方向规的修正因子p0/p，求出其平均值。