| 发明名称 | 用于制造有机EL显示装置的涂敷装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。 | ||
| 申请公布号 | CN1785533A | 申请公布日期 | 2006.06.14 |
| 申请号 | CN200510129487.4 | 申请日期 | 2005.12.09 |
| 申请人 | 大日本网目版制造株式会社 | 发明人 | 川越理史;增市干雄;高村幸宏;吉田顺一 |
| 分类号 | B05C5/00(2006.01);B05D3/00(2006.01);H05B33/10(2006.01) | 主分类号 | B05C5/00(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高龙鑫;王玉双 |
| 主权项 | 1.一种涂敷装置，其在基板上涂敷有机EL材料或空穴输送材料的处理液，其特征在于：具有：载物台，其装载上述基板；加热机构，其安装在上述载物台内并加热该载物台；控制机构，其控制上述加热机构，以使装载在上述载物台上的基板加热到适于涂敷后的搬送的温度；涂敷机构，其对装载在上述载物台上的基板喷洒上述处理液。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||