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发明名称
METHOD FOR PRODUCING INTEGRATED CIRCUITS PROVIDED WITH SILICON- GERMANIUM HETERO-BIPOLAR TRANSISTORS
摘要
申请公布号
EP1844493(A1)
申请公布日期
2007.10.17
申请号
EP20060704267
申请日期
2006.01.27
申请人
ATMEL GERMANY GMBH
发明人
BRANDL, PETER
分类号
H01L21/331;H01L29/737
主分类号
H01L21/331
代理机构
代理人
主权项
地址
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