汽化器

摘要

本发明揭示一种汽化器单元，其将固体馈入材料、尤其包含用于半导体制造的簇分子的材料加热到产生待离子化的蒸汽的温度，其具有有效构造和许多有效的安全特征。加热器位于可卸顶部闭合部件中，且用以将所述顶部闭合部件中的阀维持在固体材料的加热温度高的温度下。顶部区为与底部区的界面的热分配器，底部的侧壁和底部壁将自界面所接收的热分配到暴露于馈入材料的空腔的表面。机械和电子编码的锁定、防止接近和有效使用提供安全性。硼烷、十硼烷(decaborane)、碳簇和其它大分子被汽化以用于离子植入。展示与新颖蒸汽传送系统以及与离子源配合的此类汽化器。

主权项

1. 一种汽化器单元，其具有加热器且经构造以含有固体馈入材料且将所述固体馈入材料加热到产生待离子化的蒸汽的温度，所述汽化器单元经构造以垂直悬挂且包含：具有固体接收容积的罐体和可卸顶部闭合部件，所述顶部闭合部件界定在安装台处的所述罐的安装表面，和允许蒸汽自所述罐流动到所述安装台的阀，改良处为其中用于汽化所述罐体中的固体材料的所述加热器位于所述可卸顶部闭合部件中，且用以将所述顶部闭合部件的所述阀维持在比所述固体材料的加热温度高的温度下。