发明名称 |
一种用于超薄晶粒抓取和粘贴的吸嘴结构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于超薄晶粒抓取和粘贴的吸嘴结构,包括固定支架和子吸嘴,其特征在于各个子吸嘴之间按照间隔小于1mm排列,所述子吸嘴包括子吸嘴架、真空管和吸盘,所述真空管的孔径为0.2‑0.3mm。通过改进吸嘴的结构设计和加密子吸嘴和增加子吸嘴的数量,可以稳稳的吸住芯片,吸嘴的材质软硬度更加合适,能在粘贴晶粒时将晶粒的每个边都压平,使晶粒能跟被结合物更紧密的结合。安装时子吸嘴扣在子吸嘴支架上,使安装更加简单方便,且保证了子吸嘴安装后很平整。 |
申请公布号 |
CN205723486U |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201620355107.2 |
申请日期 |
2016.04.25 |
申请人 |
东莞记忆存储科技有限公司 |
发明人 |
陈志峰 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
广东广和律师事务所 44298 |
代理人 |
叶新民 |
主权项 |
一种用于超薄晶粒抓取和粘贴的吸嘴结构,包括固定支架和子吸嘴,其特征在于各个子吸嘴之间按照间隔小于1mm排列,所述子吸嘴包括子吸嘴架、真空管和吸盘,所述真空管的孔径为0.2‑0.3mm。 |
地址 |
523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业东路32号 |