发明名称 一种用于超薄晶粒抓取和粘贴的吸嘴结构
摘要 本实用新型公开了一种用于超薄晶粒抓取和粘贴的吸嘴结构,包括固定支架和子吸嘴,其特征在于各个子吸嘴之间按照间隔小于1mm排列,所述子吸嘴包括子吸嘴架、真空管和吸盘,所述真空管的孔径为0.2‑0.3mm。通过改进吸嘴的结构设计和加密子吸嘴和增加子吸嘴的数量,可以稳稳的吸住芯片,吸嘴的材质软硬度更加合适,能在粘贴晶粒时将晶粒的每个边都压平,使晶粒能跟被结合物更紧密的结合。安装时子吸嘴扣在子吸嘴支架上,使安装更加简单方便,且保证了子吸嘴安装后很平整。
申请公布号 CN205723486U 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201620355107.2 申请日期 2016.04.25
申请人 东莞记忆存储科技有限公司 发明人 陈志峰
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 广东广和律师事务所 44298 代理人 叶新民
主权项 一种用于超薄晶粒抓取和粘贴的吸嘴结构,包括固定支架和子吸嘴,其特征在于各个子吸嘴之间按照间隔小于1mm排列,所述子吸嘴包括子吸嘴架、真空管和吸盘,所述真空管的孔径为0.2‑0.3mm。
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