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发明名称 BAUELEMENT MIT VERBESSERTEM WIEDERSTANDSWERT DES SELBST JUSTIERTEN SILIZIDS AUF POLYSILIZIUMGATES
摘要
申请公布号 DE69931068(T2) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 DE19996031068T 申请日期 1999.11.04
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 JAN, CHIA-HONG;TSAI, A.;YANG, SIMON;GHANI, TAHIR;WHITEHILL, A.;KEATING, J.;MYERS, ALAN
分类号 H01L21/8242;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8236;H01L29/49;H01L29/76;H01L29/78;H01L29/94;H01L31/062;H01L31/113;H01L31/119 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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