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发明名称 RESIST COMPOSITIONS WITH POLYMERS HAVING 2-CYANO ACRYLIC MONOMER
摘要
申请公布号 EP1405140(A4) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20010996218 申请日期 2001.12.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LI, WENJIE;VARANASI, PUSHKARA, RAO
分类号 C08F222/32;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/73;G03F7/004;G03F7/028 主分类号 C08F222/32
代理机构 代理人
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