一种用于微气流检测的磁电传感器

摘要

本实用新型公开了一种用于微气流检测的磁电传感器，包括柔性膜架、软性永磁片、超磁致伸缩薄膜、磁极导体和检测导体；超磁致伸缩薄膜通过磁控溅射法在所述软性永磁片的表面喷射堆积而成，软性永磁片两端分别粘贴在柔性膜架上，磁极导体具有两根，分别设置在超磁致伸缩薄膜两端处的柔性膜架上；位于密闭容器内，所述柔性膜架的两端设置有粘贴片，所述粘贴片设置在密闭容器的内壁面上；所述检测导体位于所述密闭容器的外壁面上，所述磁极导体与所述检测导体通过磁场进行连接；所述检测导体上缠绕有感应线圈。本实用新型能够使传感器的检测部分位于密闭空间，使检测环境无气流干扰，且传感器的检测部分无能耗，非常适用于执行长期实时监测的任务。

主权项

一种用于微气流检测的磁电传感器，其特征在于：包括柔性膜架(1)、软性永磁片(2)、超磁致伸缩薄膜(3)、磁极导体(4)和检测导体(7)；所述超磁致伸缩薄膜(3)通过磁控溅射法在所述软性永磁片(2)的表面喷射堆积而成，所述软性永磁片(2)两端分别粘贴在所述柔性膜架(1)上，所述磁极导体(4)具有两根，分别设置在超磁致伸缩薄膜(3)两端处的柔性膜架(1)上，所述检测导体(7)两端对应两根磁极导体(4)的外端；所述柔性膜架(1)、软性永磁片(2)、超磁致伸缩薄膜(3)、磁极导体(4)组成传感器检测部分，位于密闭容器(6)内，所述柔性膜架(1)的两端设置有粘贴片(5)，所述粘贴片(5)设置在密闭容器(6)的内壁面上；所述检测导体(7)位于所述密闭容器(6)的外壁面上，所述磁极导体(4)与所述检测导体(7)通过磁场进行连接；所述检测导体(7)上缠绕有感应线圈(8)，所述感应线圈(8)的两端接到电流检测设备上。