发明名称 Verfahren zum selektiven Verbinden von Substraten
摘要
申请公布号 DE10239306(B4) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 DE20021039306 申请日期 2002.08.27
申请人 HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V.;HYGRAMA AG 发明人 SCHAIBLE, JOCHEN;NOMMENSEN, PETER;AUBER, JOHANNES
分类号 B81C3/00;B81B3/00;F15C5/00;F16K99/00;H01L21/20;H01L21/30 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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