| 发明名称 |
LACTAM-ZUSAMMENSETZUNGEN ZUM ENTFERNEN VON ORGANISCHEN UND PLASMA-GEÄTZTEN RÜCKSTÄNDEN AUF HALBLEITERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60041497(D1) |
申请公布日期 |
2009.03.19 |
| 申请号 |
DE20006041497 |
申请日期 |
2000.07.17 |
| 申请人 |
EKC TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
CHENG, JUN;SMALL, ROBERT J.;PATEL, BAKUL P. |
| 分类号 |
B08B3/04;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3213 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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