有机EL发光元件及其制造方法以及显示装置

摘要

一种有机EL发光元件，其具有：导电性透明电极(3)、与该导电性透明电极(3)对置的对置电极(8)、在所述导电性透明电极(3)和所述对置电极(8)之间设置的有机EL发光层(6)、至少覆盖所述有机EL发光层(6)而设置的绝缘保护层(9)、与该绝缘保护层(9)相接而设置的散热层(11)，所述导电性透明电极至少在所述有机EL发光层(6)侧的表面部分具有ITO膜，该ITO膜包含Hf、V及Zr中至少一种，而且，所述绝缘保护层(9)包含厚度100nm以下的氮化膜。本发明还涉及一种显示装置。

主权项

1.一种发光元件的制造方法，该发光元件具有：导电性透明电极、与该导电性透明电极对置的对置电极、在所述导电性透明电极和所述对置电极之间设置的发光层、至少覆盖所述发光层而设置的保护层，该发光元件的制造方法的特征在于，使用以从Ar、Kr、Xe所构成的组中选择的气体为主成分的等离子体来形成该保护层。