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发明名称 DIRECT LIQUID INJECTION SYSTEM AND METHOD FOR FORMING MULTI-COMPONENT DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 EP1779419(A2) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20050786304 申请日期 2005.08.16
申请人 AVIZA TECHNOLOGY, INC. 发明人 SENZAKI, YOSHIHIDE
分类号 H01L21/314;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/285;H01L21/44 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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