| 摘要 |
텅스텐 층을 갖는 기판을 연마하기 위한 화학적 기계적 연마 조성물은 수계 액체 담체, 액체 담체에 분산되어 있고 적어도 6 mV의 영구 양전하를 갖는 콜로이드성 실리카 마모제, 액체 담체 중의 용액으로의 아민 함유 중합체, 및 철 함유 촉진제를 포함한다. 텅스텐 층을 포함하는 기판의 화학적 기계적 연마 방법은 기판을 상기에 기재된 연마 조성물과 접촉시키고, 연마 조성물을 기판에 대하여 상대적으로 움직이게 하고, 기판을 마모시켜 기판으로터 텅스텐의 일부를 제거함으로써 기판을 연마하는 것을 포함한다. |
