CRUCIBLE FOR E-BEAM EVAPORATOR

摘要

본 발명은 Al에 대해서도 안정적인 증발효율과 내구성을 나타내는 도가니에 관한 것으로, 전자빔 증발증착 장치의 증발원에 사용되는 도가니로서, 측벽과 바닥으로 구성되고, 안쪽 공간에 증착물질이 위치하는 보관부; 및 측벽과 바닥으로 구성되고, 상기 보관부의 바깥쪽에 결합되며, 상기 보관부의 측벽보다 측벽의 높이가 더 높은 웨팅(Wetting)방지부를 포함한다. 본 발명은, 측벽의 높이가 상대적으로 더 높은 웨팅방지부를 구비함으로써, 안쪽에 위치하는 보관부의 측벽범위에서만 Al 웨팅이 발생하여 도가니의 사용 수명이 늘어나는 효과가 있다. 또한, 웨팅방지를 위한 세라믹 재질과의 접촉을 최소화함으로써, 증착된 Al에 불순물이 포함되어 박막의 물성의 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 최종적으로, 도가니 교체 없이 고품질의 Al 박막을 반복적으로 형성할 수 있는 전자빔 증발증착 장치를 제공한다.