POLISHING APPARATUS

摘要

연마 장치는, 연마 테이블을 회전시키는 테이블 회전 모터와, 톱링을 회전시키는 톱링 회전 모터와, 연마 패드를 드레싱하는 드레서와, 연마 패드의 높이를 측정하는 패드 높이 측정기와, 연마 패드의 높이로부터 연마 패드의 감모량을 산출하고, 연마 패드의 감모량과, 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류와, 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류에 기초하여 연마 패드(22)의 수명을 결정하는 진단부를 구비한다.