发明名称 METHOD FOR APPLYING DRIED METAL SINTERING COMPOUND BY MEANS OF A TRANSFER SUBSTRATE ONTO A CARRIER FOR ELECTRONIC COMPONENTS CORRESPONDING CARRIER AND THE USE THEREOF FOR SINTERED CONNECTION TO ELECTRONIC COMPONENTS
摘要 전자 부품용 기판의 사전-규정된 전기-전도성 표면 부분에 건조 금속 소결 준비물로 이루어진 복수의 별개 층 단편을 적용하기 위한 방법으로서, (1) 사전-규정된 전기-전도성 표면 부분에 거울-대칭적인 배치로 평면 이송 기판의 한쪽 면에 금속 소결 준비물로 이루어진 복수의 별개 층 단편을 적용하는 단계; (2) 이렇게 적용된 금속 소결 준비물을 소결이 일어나지 않도록 하면서 건조시키는 단계; (3) 전자 부품용 기판의 사전-규정된 전기-전도성 표면 부분과 건조 금속 소결 준비물이 제공된 이송 기판의 표면 부분의 일치하는 위치설정을 보장하면서, 건조 금속 소결 준비물로 이루어진 층 단편들을 구비한 이송 기판을 전자 부품용 기판의 표면을 향하도록 배치 및 접촉시키는 단계; (4) 단계 (3)에서 형성된 접촉 배치에 압축력을 인가하는 단계; 및 (5) 접촉 배치로부터 이송 기판을 제거하는 단계;를 포함하며, 단계 (4)의 완료 이후 전자 부품용 기판의 사전-규정된 전기-전도성 표면 부분에 대한 건조 금속 소결 준비물의 접착력은 이송 기판의 표면에 대한 접착력보다 더 크며, 평면 이송 기판은 비소결성인 그리고, 필요한 경우, 코팅된 금속 필름이거나 열가소성 플라스틱 필름이며; 전자 부품용 기판은 10 내지 500 ㎛의 하나 이상의 오목부를 구비하는 평면 표면을 갖는 기판이며, 또한, 프레싱된 스크린, 세라믹 기판, DCB 기판 및 금속 복합 재료로 이루어진 그룹으로부터 선택되며, 적어도 하나의 사전-규정된 전기-전도성 표면 부분이 오목부 내에 위치된다. 전자 부품용 기판은 하나 이상의 전자 부품을 이미 갖추고 있을 수 있다. 이송 기판은 기판 상에 이미 존재하고 있는 전자 부품을 위한 리세스를 구비할 수 있다. 건조 금속 소결 화합물을 구비하는 전자 부품용 기판은, 먼저 건조 금속 소결 준비물과 전자 부품들을 구비하는 전자 부품용 기판으로부터 보통의 샌드위치 배치가 형성되며 이후에 상기 샌드위치 배치가 소결 공정에 투입되는 방법에서, 사용된다.
申请公布号 KR20160136351(A) 申请公布日期 2016.11.29
申请号 KR20167028791 申请日期 2014.09.03
申请人 HERAEUS DEUTSCHLAND GMBH & CO. KG 发明人 SCHAEFER MICHAEL;DUCH SUSANNE KLAUDIA
分类号 H01L23/00;H01L21/48;H01L21/56;H01L23/373;H01L25/00;H01L25/065 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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