| 发明名称 |
Dünnschichtbauelement mit einer in einer ersten Ebene über einem Substrat befindlichen resistiven dünnen Schicht |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE10150233(B4) |
申请公布日期 |
2009.01.29 |
| 申请号 |
DE20011050233 |
申请日期 |
2001.10.11 |
| 申请人 |
SENSITEC GMBH |
发明人 |
DETTMANN, FRITZ;KAHLEN, OLAF;LOREIT, UWE |
| 分类号 |
H01L43/08;G01R33/09;H01L27/22;H01L43/02;H01L49/02 |
主分类号 |
H01L43/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
