半导体机械手升降装置

摘要

本实用新型一种半导体机械手升降装置涉及一种机械手控制装置。其目的是为了提供一种能有效降低电机在垂直方向上的受力，提高机械手在垂直方向上的传动载荷的机械手升降装置。本实用新型包括：机架、传动箱、丝杠、机械手固定件和驱动电机；机架包括底座和顶板；底座与顶板通过竖向导轨相对固定；传动箱设置于底板上；驱动电机的输出轴与传动箱的输入端相连；所述丝杠的底端与所述传动箱的输出端相连，顶端轴向固定于所述顶板；所述机械手固定件设置有竖向丝母孔，所述机械手固定件通过竖向丝母孔装配于丝杠上，与丝杠形成丝杠副；所述机械手固定件上还设置有多个导轨滑块；各所述导轨滑块分别对应与一个竖向导轨相互配合，形成导轨副。

主权项

一种半导体机械手升降装置，包括：机架、传动箱、丝杠、机械手固定件和驱动电机；所述机架包括底座和顶板；所述底座与顶板通过多个竖向导轨相对固定；所述传动箱设置于所述底板上；所述驱动电机的输出轴与所述传动箱的输入端相连；所述丝杠的底端与所述传动箱的输出端相连，所述丝杠的顶端轴向固定于所述顶板；所述机械手固定件设置有竖向丝母孔，所述机械手固定件通过竖向丝母孔装配于丝杠上，与丝杠形成丝杠副；所述机械手固定件上还设置有多个导轨滑块；各所述导轨滑块分别对应与一个竖向导轨相互配合，形成导轨副。