一种非接触式柔性控制器及其制备方法

摘要

一种非接触式柔性控制器，包括：电极阵列，至少包括第一层电极及第二层电极，第一层电极和第二层电极均由若干等间距且相互平行的电极组成，第一层电极和第二层电极相互垂直；介电层，为由若干介电层模块组成的阵列，介电层模块设置于第一层电极与第二层电极交叉位置，介电层模块为透明材质；以及形成于柔性衬底表面的导电层，包括还原氧化石墨烯薄膜层，还原氧化石墨烯薄膜层为由若干还原氧化石墨烯模块阵列，还原氧化石墨烯模块设置于由第一层电极和第二层电极形成的空间内、且与第一层电极及第二层电极均电性连接。另外，本发明还提供了上述非接触式柔性控制器的制备方法。该柔性控制器灵敏度高。

主权项

一种非接触式柔性控制器，其特征在于，包括：电极阵列，所述电极阵列至少包括第一层电极及第二层电极，所述第一层电极和所述第二层电极均由若干等间距且相互平行的电极组成，所述第一层电极和所述第二层电极相互垂直；介电层，为由若干介电层模块组成的阵列，所述介电层模块设置于所述第一层电极与所述第二层电极交叉位置，所述介电层模块为透明材质；以及形成于柔性衬底表面的导电层，所述导电层包括还原氧化石墨烯薄膜层，所述还原氧化石墨烯薄膜层为由若干还原氧化石墨烯模块组成的阵列，所述还原氧化石墨烯模块设置于由所述第一层电极和所述第二层电极形成的空间内、且与所述第一层电极及所述第二层电极均电性连接；组成所述第一层电极和所述第二层电极的电极包括主路电极及支路电极，所述第一层电极和所述第二层电极的主路电极相互垂直，所述第一层电极和所述第二层电极的支路电极相互平行，所述第一层电极和所述第二层电极的支路电极分别电性连接于所述还原氧化石墨烯模块。