非标准气压封装元器件内部气氛分析方法和试验校准件

摘要

本发明公开了一种试验校准件，它为一系列内腔体积不同的、采用标准气压封装的金属空心圆柱体。本发明还公开了一种非标准气压封装元器件内部气氛分析方法，它包括如下步骤：选择内部气氛分析设备对应的校准器进行测量，获得被测元器件的端口压强值和内部气氛组成的摩尔体积比；获得被测元器件的实际内腔体积；获得三个或以上试验校准件样品的端口压强；获得被测元器件内部气氛与标准气压下等效的体积；用被测元器件的等效体积除以被测元器件的实际体积，得到修正因子，用该修正因子乘以测量的各气氛组成，得到与标准一致的评价数据，从而对元器件的可靠性作出评价。

主权项

一种试验校准件，其特征在于，它为三个或三个以上内腔体积不同的、采用标准气压封装的金属空心圆柱体。