用于调整配备有像差校正器的STEM的方法

摘要

本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的C_s校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。

主权项

一种用于调整扫描透射电子显微镜STEM的方法，所述STEM配备有物镜和用于校正所述物镜的像差校正器，所述校正器通过激励而被激发，并且所述物镜被聚焦到焦点值F，所述方法的特征在于，所述方法包括如下的重复步骤：a）记录样品的晶体或多晶部分的高分辨率STEM图像的离焦系列I₁..I_n（2A‑2E），所述离焦系列覆盖散焦范围（104），b）将所述图像（2A‑2E）变换到倒易空间中的表示R₁..R_n（3A‑3E），所述表示呈现布置成图案的许多斑点，每个斑点呈现强度（步骤106），c）对于每个表示R₁..R_n，确定至少一部分斑点（302、304）的强度分布的不对称，d）改变所述校正器的激励以及所述焦点值F，使所述像差校正器的知识与所述不对称组合，e）可选地改变所述散焦范围，以及f）使用激励和/或焦点的更改的值来可选地记录高分辨率STEM图像，将所述图像变换到倒易空间中的表示并且确定所述表示的对称以及距能够观察到斑点的图案的中心的距离，所述距离给出了最大转移极限的指示，所述的步骤的重复在如下情况时中止：● 可选地记录的对焦图像在倒易空间中的表示呈现优于预定值的对称并且呈现高于预定转移极限的最大转移极限，和/或● 校正器的激励和物镜的改变在预定值以下，和/或● 重复次数超过预定最大重复次数。