发明名称 |
数字式光学膜厚控制仪 |
摘要 |
本发明涉及一种数字式光学膜厚控制仪,包括放大器、滤波器、A/D模块、嵌入式计算机系统、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口,放大器与参考信号、测试信号以及滤波器连接,滤波器与A/D模块连接,嵌入式计算机系统与A/D模块、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口连接,其特征在于所述嵌入式计算机系统中设置有软件程序,根据初始设定值和键盘输入进行控制、跟踪显示、参数设置和通讯。本发明结构合理,安全可靠,用软件实现信号变换、数字滤波、数字锁相和数字运算,克服模拟设计存在的问题,减少了电子线路的相互干扰,提高了整机的抗干扰能力和镀膜产品的合格率。 |
申请公布号 |
CN1786740A |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
申请号 |
CN200510061564.7 |
申请日期 |
2005.11.15 |
申请人 |
郑睿敏;郑睿韬 |
发明人 |
郑睿敏;郑睿韬;赵志跃 |
分类号 |
G02B1/10(2006.01);G05B15/00(2006.01);G05B19/00(2006.01);G02F1/13(2006.01) |
主分类号 |
G02B1/10(2006.01) |
代理机构 |
杭州天欣专利事务所 |
代理人 |
陈红 |
主权项 |
1、一种数字式光学膜厚控制仪,包括放大器、滤波器、A/D模块、嵌入式计算机系统、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口,放大器与参考信号、测试信号以及滤波器连接,滤波器与A/D模块连接,嵌入式计算机系统与A/D模块、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口连接,其特征在于:所述嵌入式计算机系统中设置有软件程序,根据初始设定值和键盘输入进行控制、跟踪显示、参数设置和通讯。 |
地址 |
310012浙江省杭州市西湖区文三西路111号沁雅花园20幢5楼B座 |