减少基材上粒子污染的接地引脚

摘要

本发明揭示一种用以将基材连接于地面的接地引脚。接地引脚包括引脚主体以及套管。套管支撑引脚主体。套管包括一流体通道，以传输流体，并使流体通道的两侧的压力处于压力平衡。

主权项

一种接地引脚，用以将基材连接于地面，包括：一引脚主体，接触一接地电极，该接地电极配置于一第一凹槽内，该引脚主体从该第一凹槽延伸至一流体区域；以及一套管，支撑该引脚主体，该套管包括一流体通道，流体经由该流体通道传输，以使该引脚主体的相对两端保持压力平衡，该流体通道为一沟槽的形式配置于该套管的一外表面上，从该套管的上表面延伸至该套管的下表面，该沟槽连通该流体区域与该第一凹槽。