制备电子显微镜检测样品的模具及其制造方法

摘要

本发明提供制备电子显微镜检测样品的模具和模具的制造方法。模具是一个玻璃模板1，玻璃模板1的中心部分形成放样品的凹槽2。模具的制造方法是，首先在玻璃模板的中心放置其尺寸与要形成的凹槽尺寸相同的盖板，用刻刀在玻璃模板中心位置刻出盖板的轮廓线，轮廓线范围之外的玻璃模板部分涂覆保护层，使其在随后的腐蚀工艺中不被腐蚀，用腐蚀工艺将模板轮廓线内的玻璃模板部分形成凹槽。

主权项

1、制备电子显微镜检测样品的模具，其特征是，模具是一个玻璃模板(1)，玻璃模板(1)的中心部分形成放样品的凹槽(2)，玻璃模板(1)的尺寸是25×25×4(mm)，玻璃模板(1)的中心部分形成的放样品凹槽(2)的尺寸是长度15mm×宽度5mm×深度15μm。