| 发明名称 | 被涂覆腔室部件的翻新 | ||
| 摘要 | 本发明涉及清洗和翻新处理腔室部件。此部件拥有具有表面涂覆层的结构，此表面涂覆层具有第一层。为了翻新部件，在此结构中去除第一层以形成暴露表面。在去除涂覆层期间或之后，用清洗液清洗暴露表面，其时清洗液在暴露表面上沉积清洗剩余物。在基本上无氧环境中将暴露表面加热到足以从该表面蒸发清洗剩余物的温度，从而形成清洁表面。再在清洁表面上形成第二层。 | ||
| 申请公布号 | CN100418188C | 申请公布日期 | 2008.09.10 |
| 申请号 | CN200510071773.X | 申请日期 | 2005.04.27 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | Y·林;D·徐;R·哈尼;C·斯托 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);C23C16/56(2006.01);C23C16/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1. 一种翻新处理腔室的部件的方法，该部件包括具有表面涂覆层的结构，该表面涂覆层包含第一层，所述方法包括：(a)去除所述第一层，以在所述结构上形成暴露表面；(b)在去除所述第一层期间或之后，用清洗液清洗所述暴露表面，而由此在该暴露表面上沉积清洗剩余物；(c)在一含有体积比小于1％的氧气的无氧气氛中，将所述表面加热到至少100℃的温度，以从所述表面蒸发所述清洗剩余物，由此形成清洁表面；和(d)在所述清洁表面上形成第二层。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||