| 摘要 |
미립자가 고도로 제거된 고수질의 초순수를 안정적으로 제조할 수 있는 초순수 제조 장치가 제공된다. 1 차 순수로부터 초순수를 제조하는 서브 시스템을 갖는 초순수 제조 장치로서, 그 서브 시스템의 최후단에 막 장치가 형성되어 있는 초순수 제조 장치에 있어서, 그 막 장치가 직렬로 다단으로 설치되어 있으며, 제 1 단의 막 장치는 UF 막 장치, MF 막 장치 또는 RO 막 장치이고, 최후단의 막 장치는 UF 막 장치 또는 이온 교환기 수식되어 있지 않은 MF 막 장치인 것을 특징으로 하는 초순수 제조 장치. |
