MEMS致动器对准

摘要

本发明涉及一种用于使致动器装置相对于邻近组件(例如，致动器模块的后盖或固定透镜)进行对准的方法，其包含：将多个径向延伸的凸片安置在所述致动器装置的外周边；将对应的多对凸起安装特征安置在所述邻近组件的前表面上，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述凸片中的相应者插入到所述狭槽中的对应者中。

主权项

一种用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其包括：将多个径向延伸的凸片安置在静电梳状驱动致动器装置的外周边，其中所述凸片中的至少一者通过所述静电梳状驱动致动器的运动安装挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器装置；将对应的多对凸起安装特征安置在从所述静电梳状驱动致动器装置分离的邻近组件的前表面上，所述凸起安装特征的每一对界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述静电梳状驱动致动器装置上的所述凸片中的相应者插入到所述邻近组件的所述狭槽中的对应者中。