发明名称 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法
摘要 The polishing agent of the invention comprises water, an abrasive grain containing a hydroxide of a tetravalent metal element, polyalkylene glycol, and at least one cationic polymer selected from the group consisting of allylamine polymers, diallylamine polymers, vinylamine polymers and ethyleneimine polymers.
申请公布号 JP6044630(B2) 申请公布日期 2016.12.14
申请号 JP20140500686 申请日期 2013.02.14
申请人 日立化成株式会社 发明人 阿久津 利明;南 久貴;岩野 友洋;藤崎 耕司
分类号 C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利