发明名称 Singulated wafer die having micromirrors
摘要
申请公布号 EP1553437(A3) 申请公布日期 2005.07.20
申请号 EP20050000599 申请日期 2001.08.03
申请人 REFLECTIVITY INC. 发明人 HUIBERS, ANDREW G.;ILKOV, FEDOR;PATEL, SATYADEV;RICHARDS, PETER W.;STOCKTON, JOHN
分类号 G02B26/08;G02B27/00;G03B21/28;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
地址