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发明名称
Singulated wafer die having micromirrors
摘要
申请公布号
EP1553437(A3)
申请公布日期
2005.07.20
申请号
EP20050000599
申请日期
2001.08.03
申请人
REFLECTIVITY INC.
发明人
HUIBERS, ANDREW G.;ILKOV, FEDOR;PATEL, SATYADEV;RICHARDS, PETER W.;STOCKTON, JOHN
分类号
G02B26/08;G02B27/00;G03B21/28;(IPC1-7):G02B26/08
主分类号
G02B26/08
代理机构
代理人
主权项
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