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发明名称 Substrates support devices
摘要
申请公布号 EP1096549(A3) 申请公布日期 2007.08.29
申请号 EP20000309403 申请日期 2000.10.25
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 KRONEBERGER, CRIS KEITH
分类号 H01L21/00;F16B2/20;C23C14/50;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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