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发明名称 SUBSTRATE SUSCEPTOR
摘要 본 발명은 기판 서셉터를 제공한다. 본 발명의 기판 서셉터는 단열 플레이트; 및 상기 단열 플레이트과 접하는 저면과, 기판이 안착되는 상면을 갖고, 탄소나노튜브-그래핀 복합체로 이루어지는 면상 발열체를 포함한다.
申请公布号 KR101667947(B1) 申请公布日期 2016.10.24
申请号 KR20150145322 申请日期 2015.10.19
申请人 KOOKJE ELECTRIC KOREA CO., LTD. 发明人 LEE, SOUNG KWANG;PARK, YONG SUNG
分类号 H01L21/683;H01L21/324;H01L29/16;H01L51/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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