发明名称 CHUCK TABLE
摘要 (과제) 척 테이블의 상면에 절삭 부스러기 등이 모이는 것을 방지하여 링 프레임을 오염시키지 않도록 한다. (해결 수단) 척 테이블 (10) 은, 판상 워크 (1) 를 흡인하는 흡인면 (120) 과, 흡인원 (121) 에 흡인면 (120) 을 연통시키는 흡인공 (122) 과, 링 프레임 (2) 을 자착력에 의해 유지하는 프레임 유지 수단 (13) 을 구비하고, 프레임 유지 수단 (13) 은, 링 프레임 (2) 을 재치시키는 재치면 (130) 과, 자석 (131) 과, 재치면 (130) 에 있어서 자석 (131) 을 노출시키지 않고 재치면 (130) 에 자착력을 작용시키는 자착력 발생부 (132) 를 구비했기 때문에, 재치면 (130) 의 상면에 요철 부분이 생기지 않도록 구성할 수 있다. 이로써, 절삭 부스러기 등이 재치면 (130) 에 퇴적되는 것을 방지할 수 있어, 링 프레임 (2) 의 하면을 오염시키거나 링 프레임 (2) 에 대한 자석 (131) 의 자착력이 저하되거나 하는 것을 방지할 수 있다.
申请公布号 KR20160122638(A) 申请公布日期 2016.10.24
申请号 KR20160040881 申请日期 2016.04.04
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 FUKUOKA TAKEOMI
分类号 H01L21/683;B26D7/18;H01L21/78 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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