. METHOD FOR MANUFACTURING FLEXABLE LED

摘要

본 발명에 따른 플렉시블 질화갈륨 발광다이오드 제조방법은 (a) p-형 질화갈륨 박막층과 n-형 질화갈륨 박막층을 사파이어 층에 증착하는 단계; (b) p-형 질화갈륨 박막층에 하부 전극을 형성시키고, 하부 전극에 구리판을 도금하는 단계; (c) 사파이어 층으로부터 레이저 리프트-오프 공법을 통해 p-n 접합 질화갈륨 박막을 분리하는 단계; (d) 분리된 p-n 접합 질화갈륨 박막에 포토레지스트와 트렌치 에칭 마스크를 이용하여 트렌치 에칭 패턴을 제작하는 단계; (e) 트렌치 에칭 패턴대로 분리된 p-n 접합 질화갈륨 박막에 트렌치 에칭을 하는 단계; (f) 분리된 p-n 접합 질화갈륨 박막에 포토레지스트와 포토리소그래피 공정을 이용하여 상부 전극 및 상부 전극 패턴을 부착 형성하는 단계; 및 (g) 분리된 p-n 접합 질화갈륨 박막으로 제작된 질화갈륨 발광다이오드에서 포토레지스트를 제거하는 단계;를 포함하여, 스트레인에 따른 출력 전류와 전자 발광 효율 상승이 가능하고, 벤딩에 따른 에너지 밴드 휨 현상을 이용함으로써 전자와 정공의 재결합률을 상승시킬 수 있는 효과가 있다.