| 摘要 |
본 발명은 기판을 로딩 및 언로딩하기 위해 로드 록의 챔버(2)에 연결되도록 의도되는 펌핑 시스템으로서, 적어도 제1 최대 펌핑 속도(S1)를 갖는 제1 주 펌핑 유닛(9a, 9b) 및 제2 최대 펌핑 속도(S2)를 갖는 제2 주 펌핑 유닛(10a, 10b)을 포함하고, 각각의 주 펌핑 유닛(9a, 9b, 10a, 10b)은 단일-스테이지 루츠 진공 펌프(15) 및 주 진공 펌프(13)를 포함하며, 단일-스테이지 루츠 진공 펌프(15)는 펌핑될 기체들의 유동 방향에서 주 진공 펌프(13)와 직렬로 그리고 그의 상류에 장착되고, 상기 제1 및 제2 주 펌핑 유닛(9a, 9b, 10a, 10b)은 병렬로 장착되며 그리고 기판을 로딩 및 언로딩하기 위해 로드 록의 챔버(2)를 동시에 펌핑하도록 구성되는 것인 펌핑 시스템에 있어서, 상기 제1 주 펌핑 유닛(9a, 9b)은 상기 제2 주 펌핑 유닛(10a, 10b)에 대해 상이한 펌핑 특성을 가지며, 상기 제1 및 제2 주 펌핑 유닛(9a, 9b, 10a, 10b)의 제1 최대 펌핑 속도와 제2 최대 펌핑 속도 사이의 차이가, 500 m/h 를 초과하는 것을 특징으로 하는 펌핑 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 로드 록의 챔버(2) 내의 압력을 낮추는 방법에 관한 것이다. |
