| 摘要 |
본 발명은 이미지 센서에 관한 것으로, 상세하게는 고감도 특성을 갖는 이미지 센서의 단위 화소에 관한 것이다. 본 발명의 일측면에 따르면, 기판에 형성되며 입사된 빛을 전기 신호로 변환하는 이미지 센서를 구성하는 단위 화소가 제공된다. 단위 화소는 전원전압이 인가되며, 상부에 메탈 컨택을 위한 실리사이드층이 형성된 소스, 상기 소스로부터 이격되어 형성되며, 상부에 메탈 컨택을 위한 실리사이드층이 형성된 드레인, 상기 소스와 상기 드레인 사이에 형성되어 전류가 흐르는 채널, 상기 채널의 상부에 형성되는 절연층, 이미지 센서 표면의 수광영역에 위치하며, 입사된 빛에 의한 전기적 특성 변화가 발생하는 수광부, 상기 소스와 상기 드레인 사이에 위치하도록 상기 절연층의 상부에 형성되고, 상기 수광부와 전기적으로 연결되며, 상기 전기적 특성 변화로 인한 전계 변화로 상기 채널을 흐르는 전류량을 제어하는 플로팅 게이트를 포함할 수 있다. |
