| 发明名称 |
Lighting Apparatus for Vision Inspection |
| 摘要 |
본 발명은 기판으로 조명광을 조사하고 기판의 표면 검사 영상을 획득하여 피검사체의 표면 이물 부착 여부를 조사하는 기판 조명 검사 유니트로, 기판의 진행 방향과 평행한 적어도 일단에 배치되는 패러렐 조명부를 포함하는 조명부와, 기판에서 이격되어 기판 표면의 영상을 취득 가능한 영상 감지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 조명 검사 유니트를 제공한다. |
| 申请公布号 |
KR20160133915(A) |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
| 申请号 |
KR20150067096 |
申请日期 |
2015.05.14 |
| 申请人 |
ENGION CO., LTD. |
发明人 |
SONG, IM KANG;PARK, KYUNG BAE;LEE, JAE YOUL |
| 分类号 |
F21S2/00;F21V5/04;F21V9/14;F21V33/00;F21W131/403;G01N21/85;G01N21/88;G01R31/26 |
主分类号 |
F21S2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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