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发明名称 Semiconductor workpiece processing apparatus
摘要
申请公布号 EP1073096(B1) 申请公布日期 2007.08.29
申请号 EP20000115094 申请日期 2000.07.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SHODA, NAOHIRO;WEIGAND, PETER
分类号 C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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