| 摘要 |
본 고안은 반도체 제조에 사용되는 챔버의 진공 정도를 제어하기 위해 펌프의 흡입력을 효과적으로 제어하여, 챔버 내의 공기의 압력을 효율적으로 제어할 수 있도록 하는 밸브에 관한 것으로, 본 고안은 내부가 원통형으로 형성되고, 일측에 진공챔버와 결합되어 상기 진공챔버의 공기가 흡입될 수 있는 흡입구가 형성되고, 상기 흡입구의 방향과 수직하는 일측 단부에 배출구가 형성된 하우징과; 상기 하우징 내부에 회전가능하게 삽입되는 원통형으로 형성되고, 상기 흡입구에 대응하는 위치에 개구부가 형성되어 회전에 의해 상기 흡입구의 개방 정도를 조절하는 스로틀 실린더; 그리고 상기 스로틀 실린더 내부에 승하강되도록 삽입되어 상기 배출구를 개폐하는 개폐 피스톤을 포함하여 구성된다. 이와 같은 본 고안에 의하면, 복동식 피스톤에 의한 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 밸브의 차폐력이 강화되고, 토출구의 개폐정도를 정확하고 안정적으로 제어할 수 있는 장점이 있다. |
