一种生物活性纳米晶β‑Ta涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种生物活性纳米晶β‑Ta涂层的制备方法，采用双阴极等离子溅射沉积方法制备生物活性纳米晶β‑Ta涂层，具体的工艺参数如下：靶材电压700~1000 V,工件电压250~350 V，靶材与工件间距10~20 mm,工作气压25~40 Pa，沉积温度600~900 ℃，沉积时间 1.0~2.0 h. 溅射靶材的种类：纯度为>99.9%的商用纯Ta；工件材料的种类：医用钛合金植入材料。本发明制备得到的纳米晶β‑Ta涂层具有高硬度、高韧性以及优异的腐蚀抗力和磷灰石诱导能力，能明显提高医用钛合金的耐磨性、抗腐蚀性能和生物活性。

主权项

一种生物活性纳米晶β‑Ta涂层的制备方法，其特征在于：采用双阴极等离子溅射沉积技术，在工件表面形成致密均匀无缺陷的纳米晶β‑Ta涂层，其中a.双阴极等离子溅射沉积工艺参数：靶材电压为700~1000 V，工件电压为250~350 V，靶材与工件间距为10~20 mm，Ar气压为25~40 Pa，沉积温度为600~900 ℃，沉积时间为1.0~2.0 h；b.溅射的靶材种类：商用纯Ta；c.工件材料的种类：医用钛合金。