发明名称 自己組織化材料及びパターン形成方法
摘要 【課題】 ラメラ構造を形成可能な自己組織化材料を提供することを課題とする。【解決手段】 実施形態によれば、ブロックコポリマーとトップコート材とを含んだ自己組織化材料が提供される。ブロックコポリマーは、第1ブロックと、該第1ブロックと比較して表面自由エネルギーがより高い第2ブロックとを含む。トップコート材は、第1ブロックの表面自由エネルギーよりも高く且つ第2ブロックの表面自由エネルギーよりも低い表面自由エネルギーを有している第1部分と、第1ブロックの表面自由エネルギーよりも低い表面自由エネルギーを有している第2部分とを含む。このトップコート材の第1部分は、第1ブロックと、第2ブロックの中間の表面自由エネルギーを有するホモポリマーであるか、又は、第1ブロックの繰り返し単位と第2ブロックの繰り返し単位とを有するランダムコポリマーである。トップコート材の第2部分は、有機シロキサン含有ポリマー又はフッ素含有ポリマーである。【選択図】図1
申请公布号 JP6039028(B1) 申请公布日期 2016.12.07
申请号 JP20150180040 申请日期 2015.09.11
申请人 株式会社東芝 发明人 清野 由里子;木原 尚子
分类号 H01L21/3065;B05D1/36;B05D5/00;B32B27/30;B82Y30/00;B82Y40/00;C08J7/00;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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