| 发明名称 |
IMPRINT APPARATUS, IMPRINT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
임프린트 장치는, 기판 스테이지, 몰드 스테이지, 기판의 면에 평행한 방향에서의 몰드에 대한 기판의 상대 위치를 검출하도록 구성된 검출기, 임프린트재에 진동을 전달하도록 구성된 진동 유닛, 및 임프린트재 및 몰드를 서로 접촉시킨 이후 진동 유닛에 의해 임프린트재에 진동을 전달하면서 검출기에 의한 검출 결과에 기초하여 기판과 몰드를 위치 정렬하도록 임프린트 처리를 제어하도록 구성된 제어기를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160113689(A) |
申请公布日期 |
2016.09.30 |
| 申请号 |
KR20167023508 |
申请日期 |
2015.01.20 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
ASANO TOSIYA;HASEGAWA NORIYASU;MURAKAMI YOSUKE |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/20;G03F7/30 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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