发明名称 |
一种复合栅、栅源自隔离VDMOS、IGBT功率器件 |
摘要 |
本实用新型涉及一种复合栅、栅源自隔离VDMOS、IGBT功率器件,属于微电子技术领域,特征在于在源区与多晶硅栅层之间除设置有热氧化SiO<SUB>2</SUB>栅氧层外,还增加设置了Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>层,两者结合构成复合栅,有助于提高栅的成品率,且源栅隔离层采用在多晶硅栅层表面上直接热氧化生成的工艺技术,利用Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>的氧化速度比多晶硅的氧化速度慢10倍以上、可以快速屏蔽栅区窗口、而在自身表面上只能生成便于去除的极薄氧化层的特点,有助于简化制造工艺、实现栅源自隔离和确保隔离层的生成。与现有技术的同类功率器件及其制造工艺技术相比,具有结构简单、工序简化,制造方便且成本低和产品质量易保证等诸多优点,具有很强的经济性和实用性。 |
申请公布号 |
CN201017890Y |
申请公布日期 |
2008.02.06 |
申请号 |
CN200720067356.2 |
申请日期 |
2007.02.14 |
申请人 |
上海富华微电子有限公司 |
发明人 |
邵光平 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L29/739(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
上海京沪专利代理事务所 |
代理人 |
沈美英 |
主权项 |
1.一种复合栅、栅源自隔离VDMOS、IGBT功率器件,由金属底层(1)、N+衬底层(2)、N-外延层(3)、P-区(4)、P+区(5)、N+区(6)、热氧化SiO2栅氧层(7)、多晶硅栅层(8)、源栅隔离层(9)和金属表层(10)组成,其特征在于:在源区与多晶硅栅层(8)之间除设置有热氧化SiO2栅氧层(7)外,还增加设置有Si3N4层(11);源栅隔离层(9)系单层结构、由设置在多晶硅栅层(8)和金属表层(10)之间的SiO2隔离层(12)充任。 |
地址 |
200122上海市浦东新区东方路971号钱江大厦14楼H座 |